CVDiam® - MWCVD
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Réacteur CVD plasma micro-onde industriel, sûr et complètement automatisé :
- Générateur micro-onde, 2.45 GHz, 6kW
- Sas de chargement
- Mouvement du porte-substrat en z
- Contrôle de la température du porte-substrat indépendamment de la puissance micro-onde
- Pompe turbomoléculaire, panneau de gaz, circuit de refroidissement installés dans un châssis monobloc
- IHM développé pour un opérateur ou un ingénieur R&D
Offre client complète (conseils, équipement, procédés, installation et SAV)
Principales applications :
- Joaillerie
- Optique
- Détecteurs de radiation
- Fonctionnelles ou décoratives
- Outils de précision
- Puits de chaleur