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Composants diamant nanostructurés

3_bdd-microdisc4_mda chip6_interdigitated microelectrode7_fluidic microsystem

Production de composants structurés de diamant ou de diamant-sur-isolant grâce à une technologie de lithographie sans masque :

  • L'écriture directe (sans masque) pour la microgravure de couches minces sur wafers (100 à 200 mm) pour réaliser des NANOFORMES
  • Procédés de fabrication multiples (traitement silicium, couche de diamant,  Si3N4/SiO2 or autres films, gravure sélective...)
  • Production simple or multi-wafers
  • De la petite série (quelques composants) à la grande série (> 10-100 K puces)

 

Une exemple d'application sont les réseaux de micro-disques d'électrodes BDD (MDA ou IDA) pour l'analytique haute-perfomance 

> plus d'informations

NeoCoat SA  -  Eplatures-Grise 17, CH-2300 La Chaux-de-Fonds, Suisse  -  +41 32 930 29 40           © 2012-2021     Mentions Légales